微电子科学与工程专业为“上海市一流本科专业建设点”，源于1958年成立的半导体物理专业，已经有60余年的历史，为集成电路企业培养了大量人才。微电子科学与工程专业目前为微电子学院唯一本科专业，主要招生方式为直招和理工大类分流。

微电子科学与工程专业人才培养目标为培养集成电路领域的卓越创新人才。依照现代微电子产业的“系统-电路-芯片-器件-物理”架构设计本专业的课程体系和培养环节，采取课内培养和课外培养相结合的方式；根据微电子科学与工程专业的特点和集成电路领域对人才的要求，本着“数理平衡、理工融合、专业突出、前沿交叉”的原则设置课程体系，并与实践环节相互匹配和促进。